研究級顯微鏡（正置），全新的光學設計，可以提供宏觀模式快速初檢，以及傾斜紫外光路功能（OUV, 傾斜紫外觀察模式）不單提升了分辨率還提高了檢查12英寸（300毫米）硅片的產能。